西安高新区陕西光电子先导院先进光子器件工程创新平台落成

  据了解，陕西光电子先导院先进光子器件工程创新平台项目是中科院西安光机所和西安高新区共同打造的秦创原“三器”平台项目之一。项目占地30亩，建设中试车间、中试大楼、综合楼和动力站等研发中试配套设施，总建筑面积约3万平方米，洁净厂房3000平方米，一期专业设备86台(套)，具备以GaAs、GaN为主线，围绕6英寸化合物芯片工艺服务能力的柔性中试平台，可为光子产业孵化项目提供产品研发、中试、检测等全流程技术服务。

  该平台技术服务模式(20%)+工程代工模式(80%)的结合，为光子产业各类创新主体，打通从产品研发到市场化批量供货的完整链条，解决当前行业中小型创新企业流片困难的问题。通过与创新企业持续进行联合研发，光子芯片制程中的光刻、刻蚀、蒸镀等多项核心工艺技术不断攻克，平台软硬件建设不断完善。同时，平台将有效解决第三代化合物半导体芯片关键核心技术环节中的外延生长与制程问题，为客户提供芯片制造环节中的全流程服务(如外延生长、光刻、刻蚀、薄膜制备、清洗、减薄、抛光、划片等)。其客户主要集中在光电芯片、功率器件、射频器件等芯片设计企业、高校、科研院所等。

  据介绍，光子技术产业是现代产业体系的“关键少数”，技术壁垒高、产业带动性强、头雁效应明显，是新一轮科技革命全球必争之域。陕西省光子产业发展优势明显，全省不仅拥有西安光机所、西安电子科技大学、西北工业大学等一批光子学科健全、特色鲜明的高校院所，具备丰厚的科研成果，还有拥有100余家光子技术企业，初步形成了光子制造、光子信息、光子传感等产业集群。同时，陕西省在光子技术产业领域也有着深厚的科研基础，高折射率硅光芯片、微纳光波导、光栅耦合器和VCSEL激光器、半极性GaN光电芯片衬底材料等方面均处于行业领先水平。

  未来，陕西光电子先导院先进光子器件工程创新平台将持续助力光子产业链上下游企业聚集，通过稀缺平台资源+专业技术服务持续吸引光子产业上下游企业聚集。为解决实验室无法工程化创新成果，而成熟芯片代工厂又难以承接小量创新产品产出的两难局面，做到有效的工程化衔接。

  同时吸引更多光子产业创新要素汇聚陕西，为攻关一批关键核心技术，培育一批具有先发优势和全球竞争力的光子产业冠军企业，推动光子产业集群化、规模化、高产值化发展。

（图片来源：西安高新区）

(责任编辑：陈楠)